供電規(guī)格

AC220V,200W

濺射電壓

MAX 2500V

濺射電流

MAX 30mA

靶材尺寸

直徑57mm,厚度0.1~0.5mm

適用靶材

貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,

普通金屬Cu、W、Ag、Cr等

樣品臺可調高度

20-50mm

樣品臺尺寸

直徑55mm

工作真空度

1~20Pa

氣體路數

單路

補氣流量

手動調節(jié)

控制

觸屏控制

真空泵

VRD-8