1.靶（上部電極）：材料：金，直徑：50mm，厚度：0.1mm　純度：99.999%

2、真空樣品室：直徑：160mm，高：110mm

3.樣品臺（下部電極）：濺射面積：直徑：50mm

4．工作真空： 2×10-1—10-1mbar

5.離子電流表：0-50mA

6.計時器：根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時間。

7.濺射電壓：-1600DVC

8.飛越真空泵（VRD-4）：1.1L/S

9.工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣等多種氣體

10．針閥： 配有進(jìn)氣口，微量充氣調(diào)節(jié)，可連接φ4*2.5mm軟管。