超純水處理系統(tǒng)中的反滲透超純水處理系統(tǒng)一般由預(yù)處理、二級(jí)RO系統(tǒng)、EDI裝置及拋光混床進(jìn)行系統(tǒng)化水處理，超純水處理系統(tǒng)中的二級(jí)RO系統(tǒng)包括系統(tǒng)泵、反滲透裝置、清洗裝置及中間水箱裝置包括反滲透膜及膜殼、機(jī)架、電控箱。超純水處理系統(tǒng)中的EDI裝置中包含有由陰膜、陽(yáng)膜和隔板多組交替排列電滲析器。超純水，是一般的純水處理設(shè)備很難達(dá)到的處理程度，通常采用預(yù)處理、 反滲透技術(shù)、超純水處理設(shè)備以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、高性能離 子交換(拋光)、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻 率方可達(dá)18.25MΩ*cm。

超純水處理系統(tǒng)的工藝流程大致分成以下幾種：1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為： 原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→陽(yáng)床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純 水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)

2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式，其基本工藝 流程為：原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→混床(復(fù) 床)→超純水箱→超純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)        

 超純水處理系統(tǒng)流程簡(jiǎn)單、配置合理有效、處理效率高，例如以自來(lái)水水質(zhì)的進(jìn)水，其出水水質(zhì)指標(biāo)電阻 率可至≥17.5MΩcm。