MKS NW40 - NW50耐腐蝕閥門采用專利技術(shù)在閥門處于打開處理位置時完全密封閥門波紋管。如果適用,可使用獨特的傘形閥(排氣閥)排出滯留氣體。CRV 耐腐蝕真空隔離閥采用卓越的技術(shù)和優(yōu)質(zhì)材料制造,非常耐用和可靠。它外形小、重量輕、成本低且易于維護。
NW40 - NW50,可定制尺寸
專為在惡劣環(huán)境中使用而設(shè)計
防護罩可防止反應(yīng)性和腐蝕性氣體接觸波紋管
常閉閥門利用空氣打開和彈簧關(guān)閉以確保安全
高純度、6061 鋁、304 和 316 不銹鋼材料,最大限度地減少腐蝕
使用行業(yè)標準尺寸,輕松適應(yīng)現(xiàn)有系統(tǒng)
MKS NW40 - NW50耐腐蝕閥門特征
TIG 熔焊真空級閥體
另一個標準功能是 TIG 熔焊真空級主體,由高度耐腐蝕的 304 不銹鋼制成,可減少滯留區(qū)域,從而減少污染積聚。耐腐蝕閥有角度和直列配置可供選擇。端口尺寸包括 NW 40 和 NW 50,使用最大內(nèi)徑以獲得更大的電導(dǎo)。對于密封操作,彈性密封件可用于典型真空操作條件的 Viton?,或 Kalrez?、Chemraz?、Perlast? 或 Gumlast? 用于更高溫度條件和更高的耐化學(xué)性。
顯示防護罩的閥門剖視圖
MKS NW40 - NW50耐腐蝕閥門應(yīng)用
耐腐蝕和耐臭氧閥設(shè)計用于在極其惡劣的半導(dǎo)體或太陽能過程中提供長壽命。這是通過屏蔽薄壁波紋管,限制波紋管暴露于腐蝕性或反應(yīng)性氣體來實現(xiàn)的。需要耐腐蝕閥門的典型工藝是 CVD 和蝕刻。這些工藝使用氟、氯、溴或臭氧等氣體。建議對氟或臭氧使用鋁屏蔽,而在使用氯或溴時應(yīng)使用不銹鋼屏蔽。該閥還可用于排氣管線應(yīng)用,以避免閥門波紋管腐蝕。
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